中国薄膜沉积设备行业现状格局分析及投资趋势研究报告2023-2030年

中国薄膜沉积设备行业现状格局分析及投资趋势研究报告2023-2030年

【全新修订】：2023年4月

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报告目录

第一章　薄膜沉积设备行业相关概述

1.1　半导体设备行业相关概念

1.1.1　行业基本概念

1.1.2　行业主要分类

1.1.3　投资价值占比

1.2　薄膜沉积设备行业基本介绍

1.2.1　行业基本概念

1.2.2　行业主要类别

1.2.3　设备技术对比

第二章　2021-2023年半导体设备行业发展综合分析

2.1　2021-2023年全球半导体设备行业发展状况

2.1.1　市场规模状况

2.1.2　市场区域分布

2.1.3　市场产品结构

2.1.4　企业竞争格局

2.1.5　行业投资状况

2.2　2021-2023年中国半导体设备行业发展分析

2.2.1　市场规模状况

2.2.2　国产化率情况

2.2.3　企业产品布局

2.2.4　企业营收排名

2.2.5　对外贸易状况

2.3　中国半导体设备行业上市公司财务状况

2.3.1　上市公司规模

2.3.2　上市公司分布

2.3.3　经营状况分析

2.3.4　盈利能力分析

2.3.5　营运能力分析

2.3.6　成长能力分析

2.3.7　现金流量分析

2.4　中国半导体设备行业发展展望

2.4.1　行业发展路径

2.4.2　市场需求潜力

2.4.3　行业发展前景

第三章　2021-2023年中国薄膜沉积设备行业发展环境分析

3.1　政策环境

3.1.1　行业监管主体部门

3.1.2　行业相关发展政策

3.1.3　企业税收优惠政策

3.1.4　产业投资基金支持

3.2　经济环境

3.2.1　世界经济形势分析

3.2.2　国内宏观经济概况

3.2.3　工业经济运行情况

3.2.4　固定资产投资状况

3.2.5　国内宏观经济展望

3.3　社会环境

3.3.1　数字经济发展基础

3.3.2　电子信息产业运行

3.3.3　科技研发投入状况

3.3.4　技术人才培养情况

第四章　2021-2023年薄膜沉积设备行业发展综合分析

4.1　2021-2023年全球薄膜沉积设备行业发展状况

4.1.1　全球市场规模

4.1.2　全球市场结构

4.1.3　全球竞争格局

4.2　2021-2023年中国薄膜沉积设备行业发展状况

4.2.1　国内主要厂商

4.2.2　国内中标情况

4.2.3　国产化率情况

4.2.4　国内需求分析

4.3　2021-2023年CVD设备行业发展分析

4.3.1　行业基本概念

4.3.2　产业链条结构

4.3.3　市场规模状况

4.3.4　市场结构占比

4.3.5　市场竞争格局

4.3.6　细分市场格局

4.4　2021-2023年PVD设备行业发展分析

4.4.1　行业基本概念

4.4.2　工艺类型对比

4.4.3　产业链条分析

4.4.4　行业产值规模

4.4.5　市场规模状况

4.4.6　市场区域结构

4.4.7　市场竞争格局

第五章　薄膜沉积设备行业相关技术发展分析

5.1　物理气相沉积技术发展分析

5.1.1　技术基本简介

5.1.2　技术基本分类

5.1.3　技术研究进展

5.1.4　技术应用状况

5.1.5　未来发展展望

5.2　化学气相沉积技术研究与应用进展

5.2.1　化学气相沉积技术原理

5.2.2　先进集成电路工艺应用

5.2.3　其他领域技术应用状况

5.3　原子层沉积技术发展分析

5.3.1　技术基本原理

5.3.2　技术发展优点

5.3.3　关键技术分析

5.3.4　技术应用状况

第六章　2021-2023年中国薄膜沉积设备行业相关进出口数据分析

6.1　2021-2023年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进出口数据分析

6.1.1　进出口总量数据分析

6.1.2　主要贸易国进出口情况分析

6.1.3　主要省市进出口情况分析

6.2　2021-2023年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进出口数据分析

6.2.1　进出口总量数据分析

6.2.2　主要贸易国进出口情况分析

6.2.3　主要省市进出口情况分析

6.3　2021-2023年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进出口数据分析

6.3.1　进出口总量数据分析

6.3.2　主要贸易国进出口情况分析

6.3.3　主要省市进出口情况分析

第七章　2021-2023年薄膜沉积设备主要应用领域发展综合分析

7.1　集成电路领域

7.1.1　集成电路产业销售规模

7.1.2　集成电路产量规模分析

7.1.3　集成电路产业结构分布

7.1.4　集成电路企业注册数量

7.1.5　集成电路产业贸易状况

7.1.6　薄膜沉积设备应用前景

7.2　光伏电池领域

7.2.1　光伏电池产业发展背景

7.2.2　光伏电池行业基本概述

7.2.3　光伏电池行业产量规模

7.2.4　光伏电池转换效率变化

7.2.5　光伏电池技术路线占比

7.2.6　光伏电池企业数量规模

7.2.7　薄膜沉积设备应用情况

7.2.8　薄膜沉积设备发展前景

7.3　新型显示领域

7.3.1　新型显示产业支持政策

7.3.2　新型显示主要技术对比

7.3.3　新型显示产业营业收入

7.3.4　新型显示细分市场发展

7.3.5　新型显示未来发展趋势

7.3.6　薄膜沉积设备应用前景

7.4　先进封装领域

7.4.1　先进封装产业发展背景

7.4.2　先进封装行业基本概述

7.4.3　先进封装行业发展历程

7.4.4　先进封装市场规模状况

7.4.5　先进封装行业所需设备

7.4.6　先进封装技术发展展望

7.4.7　薄膜沉积设备应用前景

第八章　2021-2023年国外薄膜沉积设备行业重点企业经营状况分析

8.1　应用材料（AMAT）

8.1.1　企业发展概况

8.1.2　沉积设备布局

8.1.3　2021年企业经营状况分析

8.1.4　2022年企业经营状况分析

8.1.5　2023年企业经营状况分析

8.2　泛林半导体（Lam）

8.2.1　企业发展概况

8.2.2　沉积设备布局

8.2.3　2021年企业经营状况分析

8.2.4　2022年企业经营状况分析

8.2.5　2023年企业经营状况分析

8.3　东京电子（TEL）

8.3.1　企业发展概况

8.3.2　沉积设备布局

8.3.3　2021年企业经营状况分析

8.3.4　2022年企业经营状况分析

8.3.5　2023年企业经营状况分析

8.4　先晶半导体（ASMI）

8.4.1　企业发展概况

8.4.2　沉积设备布局

8.4.3　2021年企业经营状况分析

8.4.4　2022年企业经营状况分析

8.4.5　2023年企业经营状况分析

第九章　2020-2023年中国薄膜沉积设备行业重点企业经营状况分析

9.1　北方华创科技集团股份有限公司

9.1.1　企业发展概况

9.1.2　企业业务状况

9.1.3　沉积设备布局

9.1.4　经营效益分析

9.1.5　业务经营分析

9.1.6　财务状况分析

9.1.7　核心竞争力分析

9.1.8　公司发展战略

9.1.9　未来前景展望

9.2　拓荆科技股份有限公司

9.2.1　企业发展概况

9.2.2　沉积设备布局

9.2.3　经营效益分析

9.2.4　业务经营分析

9.2.5　财务状况分析

9.2.6　核心竞争力分析

9.2.7　公司发展战略

9.2.8　未来前景展望

9.3　中微半导体设备（上海）股份有限公司

9.3.1　企业发展概况

9.3.2　沉积设备布局

9.3.3　经营效益分析

9.3.4　业务经营分析

9.3.5　财务状况分析

9.3.6　核心竞争力分析

9.3.7　公司发展战略

9.3.8　未来前景展望

9.4　盛美半导体设备（上海）股份有限公司

9.4.1　企业发展概况

9.4.2　沉积设备布局

9.4.3　经营效益分析

9.4.4　业务经营分析

9.4.5　财务状况分析

9.4.6　核心竞争力分析

9.4.7　公司发展战略

9.4.8　未来前景展望

9.5　江苏微导纳米科技股份有限公司

9.5.1　企业发展概况

9.5.2　主要产品情况

9.5.3　竞争优劣势分析

9.5.4　业务布局状况

9.5.5　企业发展动态

9.5.6　未来发展战略

第十章　中国薄膜沉积设备行业典型项目投资建设深度解析

10.1　高端半导体设备扩产项目

10.1.1　项目基本概况

10.1.2　项目投资必要性

10.1.3　项目投资可行性

10.1.4　项目投资概算

10.1.5　项目建设安排

10.2　先进半导体设备的技术研发与改进项目

10.2.1　项目基本概况

10.2.2　项目投资目的

10.2.3　项目投资概算

10.2.4　项目建设安排

10.2.5　项目选址情况

10.3　ALD设备研发与产业化项目

10.3.1　项目基本概况

10.3.2　项目投资目的

10.3.3　项目投资概算

10.3.4　项目建设安排

10.3.5　项目选址情况

10.4　基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目

10.4.1　项目基本概况

10.4.2　项目投资必要性

10.4.3　项目投资可行性

10.4.4　项目投资概算

10.4.5　项目进度安排

10.5　基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目

10.5.1　项目基本概况

10.5.2　项目投资目的

10.5.3　项目投资概算

10.5.4　项目进度安排

10.5.5　项目选址情况

第十一章　2023-2030年中国薄膜沉积设备行业投资分析及前景预测

11.1　中国薄膜沉积设备行业投资分析

11.1.1　行业投资机会

11.1.2　企业上市情况

11.1.3　行业投资壁垒

11.1.4　行业投资风险

11.1.5　企业投资策略

11.2　中国薄膜沉积设备行业发展前景分析

11.2.1　行业发展机遇

11.2.2　未来发展方向

11.2.3　行业发展趋势

11.3　中赢信合对2023-2030年中国薄膜沉积设备行业预测分析

11.3.1　2023-2030年中国薄膜沉积设备行业影响因素分析

11.3.2　2023-2030年全球薄膜沉积设备市场规模预测

11.3.3　2023-2030年中国CVD设备市场规模预测

图表目录

图表　集成电路产业链

图表　集成电路前道制造工艺流程主要设备

图表　主要半导体设备分类示意图

图表　半导体设备投资占比情况

图表　薄膜沉积设备分类

图表　PVD、CVD、ALD薄膜沉积效果示意图

图表　PVD、CVD、ALD技术优劣势及主要应用领域

图表　2015-2021年全球半导体设备市场规模及增长率

图表　2021年全球半导体设备主要国家销售额分布

图表　2021年全球半导体设备细分类型结构占比

图表　全球半导体设备代表性企业

图表　2021年全球前十五大半导体设备厂商

图表　2017-2022年全球半导体设备行业投资状况

图表　2015-2021年中国半导体设备市场规模及增长率

图表　2021年中国半导体设备国产化占比情况

图表　2020年中国半导体设备与原材料国产化率

图表　国内半导体设备企业产品布局

图表　2021年国内上市公司半导体设备业务营收排名Top10

图表　2017-2021年中国主要半导体设备进口额

图表　半导体设备行业上市公司名单

图表　2018-2022年半导体设备行业上市公司资产规模及结构

图表　半导体设备行业上市公司上市板分布情况

图表　半导体设备行业上市公司地域分布情况

图表　2018-2022年半导体设备行业上市公司营业收入及增长率

图表　2018-2022年半导体设备行业上市公司净利润及增长率

图表　2018-2022年半导体设备行业上市公司毛利率与净利率

图表　2018-2022年半导体设备行业上市公司营运能力指标

图表　2022-2023年半导体设备行业上市公司营运能力指标

图表　2018-2022年半导体设备行业上市公司成长能力指标

图表　2022-2023年半导体设备行业上市公司成长能力指标

图表　2018-2022年半导体设备行业上市公司销售商品收到的现金占比

图表　2020-2022年中国薄膜沉积设备行业相关政策汇总

图表　一期大基金投资各领域份额占比

图表　国家集成电路产业基金二期出资方（一）

图表　国家集成电路产业基金二期出资方（二）

图表　国家集成电路产业投资基金二期投资方向

图表　大基金一期与大基金二期对比

图表　2018-2022年国内生产总值及其增长速度

图表　2018-2022年三次产业增加值占国内生产总值比重

图表　2018-2022年全部工业增加值及其增长速度

图表　2022年主要工业产品产量及其增长速度

图表　2023年全国规模以上工业增加值同比增长速度

图表　2023年全国规模以上工业生产主要数据

图表　2021年全国三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重

图表　2021年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度

图表　2021年固定资产投资新增主要生产与运营能力

图表　2022年三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重

图表　2022年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度

图表　2022年固定资产投资新增主要生产与运营能力

图表　2023年三次产业投资占固定资产投资（不含农户）比重

图表　2023年分行业固定资产投资（不含农户）增长速度

图表　2023年固定资产投资新增主要生产与运营能力

图表　2021-2022年电子信息制造业和工业增加值累计增速

图表　2021-2022年电子信息制造业和工业出口交货值累计增速

图表　2021-2022年电子信息制造业营业收入、利润总额累计增速

图表　2021-2022年电子信息制造业和工业固定资产投资累计增速

图表　2017-2022年研究与试验发展（R&D）经费支出及其增长速度

图表　2022年专利授权和有效专利情况

图表　2022年中国直接从事集成电路产业人员规模

图表　2017-2022年全球半导体薄膜沉积设备市场规模

图表　2022年全球各类薄膜沉积设备市场结构

图表　2020年全球薄膜沉积设备竞争格局

图表　国内主要厂商薄膜沉积设备布局情况

图表　2020-2022年中国晶圆厂薄膜沉积设备中标情况

图表　2022年中国晶圆厂薄膜沉积设备中标分布

图表　2022年薄膜沉积设备中标情况

图表　国内主要薄膜沉积设备招标统计

图表　不同制程逻辑芯片产线薄膜沉积设备需求量

图表　CVD技术发展历程

图表　CVD设备分类及特点分析

图表　当前主流CVD技术对比

图表　CVD设备产业链

图表　2018-2024年全球CVD设备市场规模及预测

图表　2018-2024年中国CVD设备市场规模及预测

图表　2022年全球CVD设备市场结构占比情况

图表　2022年全球CVD设备市场竞争格局

图表　国内CVD设备厂商对比

图表　2022年全球管式CVD竞争格局

图表　2022年全球LPCVD竞争格局

图表　2022年全球等离子体CVD竞争格局

图表　PVD工艺类型

图表　PVD产业链

图表　2014-2022年中国PVD镀膜材料市场规模及增速

图表　2022年中国PVD市场需求结构

图表　2014-2022年全球PVD镀膜服务产值规模及增速

图表　2014-2022年中国PVD镀膜服务行业产值及增速

图表　2014-2022年全球PVD镀膜服务市场规模及增速

图表　2014-2022年中国PVD镀膜服务行业产值及增速

图表　2022年全球PVD镀膜服务市场区域结构

图表　2018-2022年全球PVD竞争格局

图表　2022年全球溅射设备竞争格局

图表　Zn-Mg合金涂层退火合金化前后试样的SEM形貌

图表　EB-PVD设备工作原理图

图表　工艺流程图

图表　多弧离子镀原理图

图表　HDPCVD技术填充浅槽示意图

图表　SACVD技术在CMOS逻辑电路ILD介质沉积中的应用

图表　FCVD技术用于极端尺寸的微小间隙或者具有复杂轮廓形貌的间隙填充工艺

图表　不同生长温度下的Si Ge选择性外延生长速率及Ge组分

图表　原子层沉积循环原理

图表　原子层沉积反应的适宜温度区间示意图

图表　前驱体空间位阻效应对薄膜生长速率影响的示意图

图表　目前ALD制备的主要纳米薄膜

图表　传统多晶硅栅极/SiO2介质层与HKMG结构对比图

图表　存储芯片结构演变（以NAND为例）

图表　三元氧化物纳米薄膜

图表　2021-2023年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进出口总额

图表　2021-2023年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进出口（总额）结构

图表　2021-2023年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置贸易顺差规模

图表　2021-2022年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进口区域分布

图表　2021-2022年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进口市场集中度（分国家）

图表　2022年主要贸易国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进口市场情况

图表　2023年主要贸易国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进口市场情况

图表　2021-2022年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置出口区域分布

图表　2021-2022年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置出口市场集中度（分国家）

图表　2022年主要贸易国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置出口市场情况

图表　2023年主要贸易国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置出口市场情况

图表　2021-2022年主要省市制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进口市场集中度（分省市）

图表　2022年主要省市制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进口情况

图表　2023年主要省市制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置进口情况

图表　2021-2022年中国制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置出口市场集中度（分省市）

图表　2022年主要省市制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置出口情况

图表　2023年主要省市制造半导体器件或IC的化学气相沉积装置出口情况

图表　2021-2023年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进出口总额

图表　2021-2023年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进出口（总额）结构

图表　2021-2023年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置贸易顺差规模

图表　2021-2022年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进口区域分布

图表　2021-2022年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进口市场集中度（分国家）

图表　2022年主要贸易国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进口市场情况

图表　2023年主要贸易国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进口市场情况

图表　2021-2022年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置出口区域分布

图表　2021-2022年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置出口市场集中度（分国家）

图表　2022年主要贸易国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置出口市场情况

图表　2023年主要贸易国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置出口市场情况

图表　2021-2022年主要省市制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进口市场集中度（分省市）

图表　2022年主要省市制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进口情况

图表　2023年主要省市制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置进口情况

图表　2021-2022年中国制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置出口市场集中度（分省市）

图表　2022年主要省市制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置出口情况

图表　2023年主要省市制造半导体器件或IC的物理气相沉积装置出口情况

图表　2021-2023年中国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进出口总额

图表　2021-2023年中国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进出口（总额）结构

图表　2021-2023年中国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备贸易顺差规模

图表　2021-2022年中国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进口区域分布

图表　2021-2022年中国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进口市场集中度（分国家）

图表　2022年主要贸易国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进口市场情况

图表　2023年主要贸易国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进口市场情况

图表　2021-2022年中国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备出口区域分布

图表　2021-2022年中国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备出口市场集中度（分国家）

图表　2022年主要贸易国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备出口市场情况

图表　2023年主要贸易国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备出口市场情况

图表　2021-2022年主要省市其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进口市场集中度（分省市）

图表　2022年主要省市其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进口情况

图表　2023年主要省市其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备进口情况

图表　2021-2022年中国其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备出口市场集中度（分省市）

图表　2022年主要省市其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备出口情况

图表　2023年主要省市其他制半导体件或集成电路用薄膜沉积设备出口情况

图表　2017-2022年中国集成电路产业销售额及增速

图表　2021-2023年中国集成电路趋势图

图表　2021年全国集成电路数据

图表　2021年主要省份集成电路占全国集成电路比重情况

图表　2022年全国集成电路数据

图表　2022年主要省份集成电路占全国集成电路比重情况

图表　2023年全国集成电路数据

图表　2023年主要省份集成电路占全国集成电路比重情况

图表　2023年集成电路集中程度示意图

图表　2014-2022年中国集成电路产业结构

图表　2016-2022年中国集成电路相关企业注册数量

图表　2021-2023年中国集成电路进出口总额

图表　2021-2023年中国集成电路进出口（总额）结构

图表　2021-2023年中国集成电路贸易顺差规模

图表　2021-2022年中国集成电路进口区域分布

图表　2021-2022年中国集成电路进口市场集中度（分国家）

图表　2022年主要贸易国集成电路进口市场情况

图表　2023年主要贸易国集成电路进口市场情况

图表　2021-2022年中国集成电路出口区域分布

图表　2021-2022年中国集成电路出口市场集中度（分国家）

图表　2022年主要贸易国集成电路出口市场情况

图表　2023年主要贸易国集成电路出口市场情况

图表　2021-2022年主要省市集成电路进口市场集中度（分省市）

图表　2022年主要省市集成电路进口情况

图表　2023年主要省市集成电路进口情况

图表　2021-2022年中国集成电路出口市场集中度（分省市）

图表　2022年主要省市集成电路出口情况

图表　2023年主要省市集成电路出口情况

图表　2016-2022年中国光伏发电累计装机容量

图表　2016-2022年中国光伏新增装机容量

图表　太阳能光伏电池分类

图表　不同衬底类型电池技术和成本参数对比

图表　2016-2022年中国电池片产量

图表　2021-2030年各种电池技术平均转换效率变化趋势

图表　2021年RERC电池片技术市场占比

图表　2021-2030年各种电池技术市场占比变化趋势

图表　2016-2021年中国光伏电池相关企业注册量

图表　TOP Con与PERC电池工艺流程及对应设备

图表　LPCVD设备和PECVD设备相关指标对比

图表　2020-2023年中国新型显示产业相关政策汇总

图表　主要显示技术对比

图表　2015-2020年中国新型显示产业营业收入及增速

图表　2017-2022年中国LED市场规模预测趋势图

图表　2017-2022年中国OLED市场规模统计预测

图表　2019-2024年中国Micro LED市场规模及预测

图表　2016-2022年中国封装测试市场规模及增速

图表　传统芯片封装工艺流程

图表　CPU核心数的结合依赖先进封装

图表　实现Chiplet功能包含的四个主要方面

图表　集成电路封装发展历程图

图表　2016-2022年中国先进封装市场规模及增速

图表　2016-2022年中国先进封装规模占全球规模比重情况

图表　传统封装所需设备

图表　先进封装所需重要设备及材料

图表　沪深港重点先进封装设备材料公司

图表　AMAT薄膜沉积设备布局

图表　2020-2021年应用材料公司综合收益表

图表　2020-2021年应用材料公司分部资料

图表　2020-2021年应用材料公司收入分地区资料

图表　2021-2022年应用材料公司综合收益表

图表　2021-2022年应用材料公司分部资料

图表　2021-2022年应用材料公司收入分地区资料

图表　2022-2023年应用材料公司综合收益表

图表　2022-2023年应用材料公司分部资料

图表　2022-2023年应用材料公司收入分地区资料

图表　LAM薄膜沉积设备布局

图表　2020-2021年泛林半导体综合收益表

图表　2020-2021年泛林半导体分部资料

图表　2020-2021年泛林半导体收入分地区资料

图表　2021-2022年泛林半导体综合收益表

图表　2021-2022年泛林半导体分部资料

图表　2021-2022年泛林半导体收入分地区资料

图表　2022-2023年泛林半导体综合收益表

图表　2022-2023年泛林半导体分部资料

图表　2022-2023年泛林半导体收入分地区资料

图表　TEL薄膜沉积设备布局

图表　2020-2021年东京电子综合收益表

图表　2020-2021年东京电子分部资料

图表　2020-2021年东京电子收入分地区资料

图表　2021-2022年东京电子综合收益表

图表　2021-2022年东京电子分部资料

图表　2021-2022年东京电子收入分地区资料

图表　2022-2023年东京电子综合收益表

图表　2022-2023年东京电子分部资料

图表　2022-2023年东京电子收入分地区资料

图表　ASM薄膜沉积设备布局

图表　2020-2021年先晶半导体综合收益表

图表　2020-2021年先晶半导体分部资料

图表　2020-2021年先晶半导体收入分地区资料

图表　2021-2022年先晶半导体综合收益表

图表　2021-2022年先晶半导体分部资料

图表　2021-2022年先晶半导体收入分地区资料

图表　2022-2023年先晶半导体综合收益表

图表　2022-2023年先晶半导体分部资料

图表　2022-2023年先晶半导体收入分地区资料

图表　北方华创薄膜沉积设备布局

图表　2020-2023年北方华创科技集团股份有限公司总资产及净资产规模

图表　2020-2023年北方华创科技集团股份有限公司营业收入及增速

图表　2020-2023年北方华创科技集团股份有限公司净利润及增速

图表　2022-2023年北方华创科技集团股份有限公司营业收入/主营业务分行业、产品、地区

图表　2020-2023年北方华创科技集团股份有限公司营业利润及营业利润率

图表　2020-2023年北方华创科技集团股份有限公司净资产收益率

图表　2020-2023年北方华创科技集团股份有限公司短期偿债能力指标

图表　2020-2023年北方华创科技集团股份有限公司资产负债率水平

图表　2020-2023年北方华创科技集团股份有限公司运营能力指标

图表　拓荆PECVD产品矩阵

图表　拓荆ALD及SACVD产品矩阵

图表　2020-2023年拓荆科技股份有限公司总资产及净资产规模

图表　2020-2023年拓荆科技股份有限公司营业收入及增速

图表　2020-2023年拓荆科技股份有限公司净利润及增速

图表　2022-2023年拓荆科技股份有限公司营业收入/主营业务分行业、产品、地区

图表　2020-2023年拓荆科技股份有限公司营业利润及营业利润率

图表　2020-2023年拓荆科技股份有限公司净资产收益率

图表　2020-2023年拓荆科技股份有限公司短期偿债能力指标

图表　2020-2023年拓荆科技股份有限公司资产负债率水平

图表　2020-2023年拓荆科技股份有限公司运营能力指标

图表　中微公司Prismo MOCVD系列发展路线

图表　中微公司薄膜沉积设备布局

图表　2020-2023年中微半导体设备（上海）股份有限公司总资产及净资产规模

图表　2020-2023年中微半导体设备（上海）股份有限公司营业收入及增速

图表　2020-2023年中微半导体设备（上海）股份有限公司净利润及增速

图表　2022-2023年中微半导体设备（上海）股份有限公司营业收入/主营业务分行业、产品、地区

图表　2020-2023年中微半导体设备（上海）股份有限公司营业利润及营业利润率

图表　2020-2023年中微半导体设备（上海）股份有限公司净资产收益率

图表　2020-2023年中微半导体设备（上海）股份有限公司短期偿债能力指标

图表　2020-2023年中微半导体设备（上海）股份有限公司资产负债率水平

图表　2020-2023年中微半导体设备（上海）股份有限公司运营能力指标

图表　盛美上海薄膜沉积设备布局

图表　2020-2023年盛美半导体设备（上海）股份有限公司总资产及净资产规模

图表　2020-2023年盛美半导体设备（上海）股份有限公司营业收入及增速

图表　2020-2023年盛美半导体设备（上海）股份有限公司净利润及增速

图表　2022-2023年盛美半导体设备（上海）股份有限公司营业收入/主营业务分行业、产品、地区

图表　2020-2023年盛美半导体设备（上海）股份有限公司营业利润及营业利润率

图表　2020-2023年盛美半导体设备（上海）股份有限公司净资产收益率

图表　2020-2023年盛美半导体设备（上海）股份有限公司短期偿债能力指标

图表　2020-2023年盛美半导体设备（上海）股份有限公司资产负债率水平

图表　2020-2023年盛美半导体设备（上海）股份有限公司运营能力指标

图表　公司光伏领域主要薄膜沉积设备

图表　公司半导体领域主要薄膜沉积设备产品

图表　高端半导体设备扩产项目总投资

图表　高端半导体设备扩产项目具体建设规划

图表　先进半导体设备的技术研发与改进项目总投资

图表　先进半导体设备的技术研发与改进项目具体建设安排

图表　ALD设备研发与产业化项目总投资

图表　ALD设备研发与产业化项目具体建设安排

图表　基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目总投资

图表　基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目具体进度安排

图表　基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目总投资

图表　基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目具体进度安排

图表　判断薄膜工艺/设备性能的主要指标

图表　2023-2030年全球薄膜沉积设备市场规模预测

图表　2023-2030年中国CVD设备市场规模预测